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光學(xué)膜厚儀OMD-1000的運(yùn)用范圍
典型應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造業(yè)，光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測(cè)量。
生物醫(yī)學(xué)原件：聚合物/聚對(duì)二甲苯；生物膜/球囊壁厚度；植入藥物涂層。
微電子：光刻膠；硅膜；氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
液晶顯示器：盒厚；聚酰亞胺；導(dǎo)電透明膜
由于是光學(xué)測(cè)量，在測(cè)量時(shí)候無(wú)須擔(dān)心破壞樣品，讓用戶(hù)簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)，通過(guò)對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。
這是一種光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀，可監(jiān)測(cè)在氣相沉積過(guò)程中用單色光在基板上產(chǎn)生的光量變化。它也用在我們自己的薄膜沉積設(shè)備中，并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成，該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專(zhuān)業(yè)知識(shí)。
在傳統(tǒng)型號(hào)中，波長(zhǎng)選擇是濾光片類(lèi)型，但是新產(chǎn)品采用了我們公司具有良好記錄的分光鏡，現(xiàn)在可以選擇任何波長(zhǎng)。
膜厚變化的信號(hào)是從電壓輸出到與個(gè)人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出，控制機(jī)構(gòu)是從手動(dòng)操作到個(gè)人計(jì)算機(jī)的命令控制。另外，通過(guò)將薄膜厚度計(jì)主體通過(guò)I / F直接連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)來(lái)控制其厚度成為可能，這是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng)，無(wú)需像其他制造商那樣的控制器。
| 模型 | OMD-1000 |
| 光譜儀類(lèi)型 | 切爾尼·特納（Czerny Turner）類(lèi)型單單色 |
| 波長(zhǎng)范圍 | 保證范圍：380至900 nm可操作 范圍：350至1100 nm |
| 波長(zhǎng)分辨率 | 狹縫0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫1.0mm：8.3nm [546nm] |
| 波長(zhǎng)精度 | ±1.0納米 |
| 最小波長(zhǎng)進(jìn)給 | 0.1納米 |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部輸出端子 | DC0-2V（滿(mǎn)量程） |
| 采樣間隔 | 100ms以上 |
| 靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/font> | ±5kV（實(shí)際8kV） |
| 光源 | 12V100W鹵素?zé)?/font> |
| 光強(qiáng)度穩(wěn)定性 | ±0.1％/ h以下 |
| 輸入電壓 | AC100V 50/60赫茲 |
| 允許輸入電壓 | AC85-132V |
| 視在功率 | 340VA以下 |
| 使用環(huán)境 | 溫度10-35℃ 濕度20-80％ |
